氙气中氟化物分析方法研究  

作　　者：刘汉兵 查玲 万芳 韩曦 程效明 周艳 

机构地区：[1]武汉钢铁集团气体有限责任公司

出　　处：《深冷技术》2023年第7期88-93,共6页

摘　　要：氙气中含有多种氟化物杂质,标准中对氟化物含量要求不明确,导致氙气产品中氟化物含量超标。文章针对氙气中三种氟化物杂质的检测方法,研究出一种能够同时准确检测出四氟化碳(CF_(4))、六氟乙烷(C_(2)F_(6))及六氟化硫(SF_(6))的气相色谱,取得了很好的分离效果。

关 键 词：氙气 四氟化碳 六氟乙烷 六氟化硫 检测分析 气相色谱 

分 类 号：TQ1[化学工程]