黎明院承担的国家科技重大专项通过现场测试验收  

作　　者：张金彪 

机构地区：[1]不详

出　　处：《化学推进剂与高分子材料》2020年第4期75-75,共1页Chemical Propellants & Polymeric Materials

摘　　要：2020年5月14日,黎明院承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”,顺利通过项目组的现场测试与评审,2项产品均满足立项要求。黎明院首席技术官牛学坤及科技部、课题承担相关负责人参加评审会。国家重大专项(“02”专项)项目组专项办公室责任专家马振宇教授牵头,会同相关档案、财务和电子气体下游用户组成验收专家组。专家组详细听取了黎明院所承担课题的进展汇报,针对项目合同规定的各项技术指标、知识产权指标、人才建设、产业化指标和经费使用情况,逐项查验。并现场测试气体,确认产品的实际纯度。

关 键 词：四氟化碳 成套工艺 六氟化硫 电子气体 制造装备 评审会 经费使用情况 首席技术官 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]