极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化  

出　　处：《中国机电工业》2020年第9期56-56,共1页China Machinery & Electric Industry

摘　　要：目前,黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品相当,但性价比高,可完全实现对进口产品的替代。由中国化工黎明化工研究设计院(以下简称黎明院)承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”日前通过国家重大专项项目组的测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。

关 键 词：四氟化碳 六氟化硫 成套工艺 制造装备 进口同类产品 国家科技重大专项 性价比高 国产化 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]