电感耦合等离子体质谱法测定高纯六氟化钨气体中的金属粒子  

Determination of Metal Granules in WF_6 Gas via ICP-MS

作　　者：张净普[1] 李翔宇[1] 孙秋丽[1] 郑秋艳[1] 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《舰船防化》2014年第2期18-22,共5页

摘　　要：高纯工业气体六氟化钨要求纯度为99.999%以上,其中金属粒子的含量要求在10-8~10-9级。本文通过一种特质的密闭系统对六氟化钨样品进行取样,并通过电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定六氟化钨中的As、B、P等9种元素以及其他金属粒子总含量。该方法检出限低、重复性好,且能快速测样,能满足工业生产中的需求。The purity of super-pure industrial gas WF6 is 99.999% and the content of metal granules is required to be 10^-8~10^-9. In this paper, a closed sample system was designed to collect WF6 sample and determine As, Al, B, Ca, Ti, Li, Si, P, Mo and the total content of other metal ions by ICP-MS. This method has low detection limit, good repeatability, and can quickly taking sample, which can meet the requirements of industrial production.

关 键 词：六氟化钨 电感耦合等离子体质谱法 金属粒子 

分 类 号：TQ163.13[化学工程—高温制品工业]