纳米多层膜的微结构与超硬效应  

Microstructure and Superhardness of Multilayer Films

作　　者：李戈扬[1] 许俊华[1] 顾明元[1] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030

出　　处：《上海交通大学学报》2001年第3期457-461,共5页Journal of Shanghai Jiaotong University

摘　　要：对所研究的 8种纳米多层膜 (Ti N/Nb N、Ti N/Ta N、Ti N/Ta WN、Ti N/Al N、Nb N/Ta N、Ti N/Si3N4 、W/Si C和 W/Mo)的晶体结构、调制结构、生长方式和界面结构类型以及它们的超硬度效应特征进行了总结和讨论 .结果认为 ,界面共格应变或其他原因所导致的交变应力场对薄膜造成的强化作用是纳米多层膜产生超硬效应的主要原因之一 .The characteristics of crystalline, modulation structure, growth mode, interface structure and superhardness of 8 multilayer systems (TiN/NbN, TiN/TaN, TiN/TaWN, TiN/AlN, NbN/TaN, TiN/Si3N4, W/SiC and W/Mo) were summarized and discussed. The results show that one of the main reasons that multiplayer films are strengthened and having superhardness is the alternating stress field resulted from coherent strain of interface or other causes.

关 键 词：微结构 界面结构 超硬效应 交变应力场 纳米多层膜 晶体结构 调制结构 

分 类 号：TB383.03[一般工业技术—材料科学与工程]