超硬效应

作品数:50被引量:203H指数:10
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结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应被引量:2
《材料研究学报》2019年第2期138-144,共7页杨波波 孙珲 杨田林 郑小龙 徐涛 李方正 宋淑梅 
山东省自然科学基金(ZR2018QEM002);山东大学(威海)青年学者未来计划~~
使用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了调制周期为5~40 nm的Ti/TiN纳米多层膜,用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪和划痕仪等手段表征薄膜的微观结构和性能,研究了调制周期对Ti/TiN纳米多层膜...
关键词:金属材料 纳米多层膜 Ti/TiN 多弧离子镀 小调制周期 超硬效应 
TiAlN/TiN纳米多层膜的微结构与力学性能被引量:7
《真空科学与技术学报》2016年第7期807-812,共6页胡春华 董学超 李淼磊 黄小忠 岳建岭 
国家自然科学基金项目资助(No.51201187);新型特种纤维及其复合材料湖南省重点实验室开放课题资助
采用多靶反应磁控溅射制备了一系列TiAlN层厚固定,TiN层厚在一定范围内连续变化的不同调制结构的TiAlN/TiN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、纳米压痕仪和CETR-UMT-3型多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微观结构和力学性...
关键词:反应磁控溅射 TiAlN/TiN纳米多层膜 调制结构 超硬效应 
NbSiN纳米复合膜的显微结构、超硬效应和机理的研究被引量:1
《真空科学与技术学报》2016年第6期649-653,共5页陈朋灿 李伟 刘平 张柯 马凤仓 陈小红 何代华 
国家自然科学基金项目(51471110)
采用NbSi复合靶,通过调节Nb与Si的比例,利用磁控溅射射频工艺,在单晶硅片上沉积不同Si含量的NbSiN纳米复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高分辨透射电镜等,研究了Si含量对NbSiN纳米复合膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明:随...
关键词:NbSiN纳米复合膜 显微结构 超硬效应 强化机制 
调制结构对c-VC/h-TiB_2纳米多层膜的超硬效应的影响被引量:4
《物理学报》2013年第1期356-360,共5页李玉阁 李冠群 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:51071104);国家重点基础研究发展计划(批准号:2012CB619601)资助的课题~~
通过磁控溅射法制备了一系列不同调制结构的c-VC/h-TiB2纳米多层膜,采用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了纳米多层膜调制结构与超硬效应的关系.基于实验研究结果,建立了立方结构V...
关键词:纳米多层膜 超硬效应 调制结构 共格生长结构 
TiAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构和力学性能研究被引量:10
《机械工程学报》2012年第4期72-77,共6页王均涛 刘平 杨丽红 李伟 刘新宽 马凤仓 
上海市科学技术委员会(08110511600);上海市教育委员会重点学科建设(J50503)资助项目
通过磁控溅射制取一系列不同AlON厚度的TiAlN/AlON纳米多层涂层,并用X射线衍射、扫描电镜、高分辨透射电镜和纳米压痕仪分别对微观结构和力学性能进行表征和测量。研究表明:非晶态的AlON在厚度约小于1 nm时,在TiAlN模板作用下转变为晶...
关键词:TiAlN/AlON纳米多层涂层 超硬效应 非晶晶化 共格外延生长 磁控溅射 
TiAlN/SiO_2纳米多层刀具涂层的微观结构和超硬效应研究被引量:3
《中国机械工程》2011年第22期2757-2761,共5页王均涛 刘平 杨丽红 李伟 刘新宽 马凤仓 
上海市科学技术委员会资助项目(08110511600);上海市教育委员会重点学科建设项目(J50503)
通过磁控溅射方法制取了一系列不同SiO2厚度的TiAlN/SiO2纳米多层涂层,并用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)和纳米压痕仪分别对该涂层的微观结构和力学性能进行了表征和测量。研究表明:当非晶态的SiO2厚度约小...
关键词:超硬效应 TiAlN/SiO2纳米多层涂层 共格外延生长 非晶晶化 
反应溅射HfC/Si_3N_4纳米多层膜的微结构与力学性能被引量:3
《真空科学与技术学报》2011年第5期574-578,共5页张晶晶 许辉 祝新发 李冠群 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(U0774001)
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的HfC/Si3N4纳米多层膜,采用X射线光电子能谱、X射线衍射、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量,研究了Si3N4层厚度变化对纳米多层膜微结构与力学性能的影响。...
关键词:HfC/Si3N4 纳米多层膜 外延生长 超硬效应 
陶瓷硬质纳米多层膜研究进展被引量:17
《无机材料学报》2010年第2期113-119,共7页孔明 岳建岭 李戈扬 
国家自然科学基金(U0774001);国家科技支撑计划(2008BAF32B06)
陶瓷纳米多层膜因具超硬效应而成为近年的研究热点.本文对这类人工材料的研究进展和存在的不足进行了评述,并展望了进一步研究的方向.二十年来,陶瓷纳米多层膜的实验研究已取得明显进展:在微结构特征方面,两调制层形成共格外延生长结构...
关键词:纳米多层膜 超硬效应 共格生长 模板效应 强化机制 
Ti(C,N)复合膜和TiN/Ti(C,N)多层膜组织和显微硬度被引量:15
《材料热处理学报》2010年第2期113-118,共6页汪蕾 董师润 尤建飞 喻利花 李学梅 许俊华 
国家自然科学基金资助项目(50574044)
采用非平衡反应磁控溅射的方法在Si(100)基片上沉积Ti(C,N)复合膜和不同调制周期、调制比的TiN/Ti(C,N)纳米多层薄膜。薄膜的微观结构和力学性能采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计进行表征。结果表明,Ti(C,N)复合膜的微观结构和力学性...
关键词:Ti(C N)复合膜 TiN/Ti(C N)纳米多层膜 显微硬度 组织 超硬效应 
Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量:3
《物理学报》2009年第4期2654-2659,共6页乌晓燕 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:U0774001)资助的课题~~
采用反应磁控溅射法制备了一系列具有不同Si3N4层厚度的AlN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.研究了Si3N4层在AlN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长结...
关键词:AlN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 赝晶体 超硬效应 
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