乌晓燕

作品数：6被引量：34H指数：3
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：纳米多层膜超硬效应SI微结构TIN更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》《金属学报》《理化检验（物理分册）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量：3
《物理学报》2009年第4期2654-2659,共6页乌晓燕 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:U0774001)资助的课题~~
采用反应磁控溅射法制备了一系列具有不同Si3N4层厚度的AlN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.研究了Si3N4层在AlN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长结...
关键词：AlN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 赝晶体 超硬效应 
反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
《真空科学与技术学报》2009年第2期168-172,共5页李广泽 乌晓燕 陈扬辉 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.U0774001)
在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用...
关键词：碳化钒 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
韧性基体上硬质涂层的扫描电镜截面样品制备方法被引量：3
《理化检验（物理分册）》2007年第10期512-513,539,共3页乌晓燕 戴嘉维 李戈扬 
以不锈钢表面涂覆AlN/SiO2纳米多层涂层样品为例,介绍了一种制备韧性基体硬质涂层的截面扫描电子显微镜观察样品的方法,取得了较好的效果。
关键词：扫描电镜截面样品 硬质涂层 韧性基体 
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制被引量：13
《无机材料学报》2007年第3期539-544,共6页孔明 赵文济 乌晓燕 魏仑 李戈扬 
国家自然科学基金(50571062)
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈...
关键词：TiN/Si3N4纳米晶复合膜 纳米多层膜 界面相 晶体化 超硬效应 
TiN／Si_3N_4纳米多层膜硬度对Si_3N_4层厚敏感性的研究被引量：3
《金属学报》2007年第2期154-158,共5页赵文济 孔明 乌晓燕 李戈扬 
国家自然科学基金50571062~~
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si_3N_4层厚的TiN/Si_3N_4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和硬度,研究了其硬度随Si_3N_4层厚微小改变而显著变化的原因．结果表...
关键词：TiN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 晶化 超硬效应 
VN/SiO_2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应
《电子显微学报》2006年第B08期91-92,共2页赵文济 岳建岭 乌晓燕 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 超硬效应 微结构特征 SIO2 高温抗氧化性 AL2O3 含氧化物 VN 
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