李广泽

作品数：2被引量：14H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：力学性能微结构反应磁控溅射ZRN厚度更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《表面技术》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
《真空科学与技术学报》2009年第2期168-172,共5页李广泽 乌晓燕 陈扬辉 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.U0774001)
在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用...
关键词：碳化钒 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能被引量：2
《表面技术》2007年第6期39-41,共3页吴莹 吴昕蔚 李广泽 李戈扬 
国家自然科学基金项目资助(50571062)
采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响。结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮...
关键词：反应磁控溅射 Ti(O N)复合涂层 微结构 力学性能 
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