吴昕蔚

作品数：2被引量：6H指数：2
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
发文主题：反应磁控溅射微结构非晶晶化显微硬度TI更多>>
发文领域：理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《表面技术》《金属学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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反应磁控溅射TiN/AlON纳米多层膜的微结构与显微硬度被引量：4
《金属学报》2008年第2期193-197,共5页黄碧龙 吴昕蔚 孔明 李戈扬 
国家自然科学基金50571062~~
采用Ti靶和Al_2O_3靶在Ar、N_2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,制备了一系列不同AlON层厚度的TiN/AlON纳米多层膜,利用EDS、XRD、HRTEM和微力学探针研究了AlON的形成条件以及AlON调制层厚的改变对多层膜生长方式和显微硬度的影响.结...
关键词：TiN/AlON纳米多层膜 外延生长 非晶晶化 显微硬度 反应磁控溅射 
反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能被引量：2
《表面技术》2007年第6期39-41,共3页吴莹 吴昕蔚 李广泽 李戈扬 
国家自然科学基金项目资助(50571062)
采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响。结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮...
关键词：反应磁控溅射 Ti(O N)复合涂层 微结构 力学性能 
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