硬质薄膜

作品数：105被引量：364H指数：11
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中波红外减反射硬质薄膜研究进展(特邀)被引量：1
《光子学报》2022年第9期63-79,共17页朱泽宇 潘雨婷 吴晗 温俊仁 郝凌云 高程 杨陈楹 邵宇川 邵建达 
国家自然科学基金(Nos.62104234,52103279)。
中波红外即3~5μm波段红外线,在大气中具有良好的透过率。中波红外探测器被广泛应用于红外制导、红外成像、气体检测分析、空间遥感等领域。为提高系统性能和增强探测器对各种恶劣工作环境的抵抗力,在光学窗口和薄膜表面常镀制高硬度薄...
关键词：中波红外 减反射 硬质薄膜 力学性能 透射率 
硬质薄膜与自润滑织物衬垫对磨的摩擦磨损性能研究被引量：1
《表面技术》2021年第11期243-249,共7页詹华 张艳 李振东 王亦奇 李碧晗 汪瑞军 
国家国防科技工业局项目(JPPT-2017-142)。
目的提高钛合金与自润滑织物衬垫对磨的耐磨性。方法采用多弧离子镀在TC4钛合金表面制备TiN和CrAlN硬质薄膜,利用扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、销-盘摩擦磨损试验机、白光干涉扫描轮廓仪测试分析薄膜的形貌、结构、硬度、弹性模...
关键词：钛合金 TIN薄膜 CrAlN薄膜 自润滑织物衬垫 转移膜 摩擦磨损性能 
B含量对(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜微观结构与性能影响被引量：1
《西安工业大学学报》2021年第5期507-514,共8页张军鹏 徐大鹏 苏霖深 房晓彤 邵文婷 
陕西省重点研发项目(2021GY-230);陕西省教育厅科研计划项目(21JP053);中国博士后科学基金(2020M683670XB)。
为了研究B含量对(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜微观结构和力学性能的影响,文中采用放电等离子烧结技术制备了B靶,并与AlSiTiCrNbV合金靶材进行镶嵌设计,向真空腔室通入N2进行反应磁控溅射,制备了(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜,分析了薄膜物相结构...
关键词：磁控溅射 硬质薄膜 靶材镶嵌设计 微观结构 力学性能 
高速钢表面TiN薄膜的界面疲劳剥落行为被引量：2
《金属学报》2021年第8期1039-1047,共9页邱龙时 赵婧 潘晓龙 田丰 
陕西省自然科学基础研究计划项目Nos.2020JQ-924、2020JC-50、2020GY-268;西安市博士后创新基地项目。
采用多弧离子镀技术在M2高速钢(W6Mo5Cr4V2)表面制备TiN薄膜,利用滚动接触疲劳法对薄膜界面疲劳行为开展研究。结果表明,界面疲劳失效主要表现形式为薄膜剥落,疲劳裂纹最先萌生于膜/基界面,经一定周次后向薄膜表面偏折,最终造成薄膜剥...
关键词：气相沉积 硬质薄膜 滚动接触 界面疲劳 剥落 
宽温域自润滑硬质薄膜材料研究进展
《上海化工》2021年第3期68-73,共6页赵子彤 鞠洪博 喻利花 许俊华 
江苏省大学生创新创业计划资助项目(202010289018Y)。
目前,航空航天等高新技术产业发展迅速,且我国工业化进程已进入后工业化阶段,一些相关的滑动零部件面临着巨大的挑战。例如,在宽温域下如何延长其工作寿命,在温度循环条件下如何能持续润滑,以及如何在一些腐蚀、高磨环境下长期工作。因...
关键词：宽温域 自润滑 薄膜 
各向异性硬质薄膜/柔软基底系统的表面屈曲分析
《表面技术》2020年第10期276-285,共10页陈智轩 国凤林 
国家自然科学基金项目(11272206)。
目的研究有限尺寸矩形正交各向异性薄膜/基底系统在单向压缩下的表面屈曲。方法采用Kirchhoff-Love薄板理论和von Kármán板理论分析了临界应变和后屈曲形貌演化,考察了材料的各向异性性质及薄膜的几何参数对表面屈曲行为的影响。结果...
关键词：薄膜/基底结构 表面屈曲 正交各向异性薄膜 临界屈曲应变 屈曲形貌 
压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究被引量：3
《计量学报》2020年第9期1089-1094,共6页于杰 陶兴付 秦林 李晓兵 
国家重点研发计划(2016YFF0204305)。
硬质薄膜的膜/基结合力是表征材料可靠性的重要特性参数。采用划痕法测试硬质薄膜的结合力时,有很多因素会影响到临界载荷L c的判定,例如薄膜和基底的硬度、模量,薄膜的表面粗糙度等;此外,仪器机架刚度、划痕速率、压头的曲率半径等仪...
关键词：计量学 压头曲率半径 类金刚石薄膜 膜/基结合力 划痕法 
电弧离子镀Cr1-xAlxN硬质薄膜的成分、结构与性能被引量：6
《无机材料学报》2020年第6期675-681,共7页莫亚杰 王明磊 程玮杰 林国强 
国家自然科学基金(51271047);国家重点研发计划课题(2016YFB0101318)。
采用电弧离子镀的分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上制备了4组不同Al含量的Cr1-xAlxN硬质薄膜,采用SEM、XPS、GIXRD、Nanoindenter及划痕仪分别表征了薄膜的形貌、成分、相结构和力学性能。结果表明:4组薄膜厚度分别为1.28、1.42、1.6...
关键词：电弧离子镀 CRALN 硬质薄膜 成分 相结构 力学性能 
AlN系硬质薄膜研究的现状和进展
《材料保护》2020年第5期111-116,共6页张驰 张钧 彭立静 曲梓萌 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助。
AlN是典型的第三代半导体材料,具有良好的介电性能、力学性能及光热性能。AlN系硬质薄膜在光、电以及机械等领域发挥着巨大作用。随着薄膜制备工艺的不断发展,AlN系硬质薄膜展现出了极大的发展潜力和应用前景。通过整理AlN系硬质薄膜的...
关键词：AlN系硬质薄膜 性能 研究 展望 
CrN系硬质膜的发展与应用被引量：5
《材料保护》2019年第12期129-134,共6页董文杰 张钧 孙宇菲 彭立静 
辽宁省自然科学基金项目(2015020216)资助.
针对现有的各种CrN系硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、耐磨性、耐蚀性等组织性能方面进行了详细的讨论和分析,指出了不同CrN系薄膜的性能及优缺点,并对未来CrN系硬质膜的发展进行了展望。
关键词：CrN系硬质薄膜 硬度 耐磨性 抗氧化性 耐腐蚀性 
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