戴嘉维

作品数：24被引量：104H指数：5
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
发文主题：反应溅射TINSUB力学性能高温抗氧化性更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学电子电信更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《功能材料》《真空科学与技术学报》《理化检验（物理分册）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金上海大学生创新活动计划更多>>
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一种高成功率的薄膜截面TEM样品制备方法被引量：5
《理化检验（物理分册）》2015年第4期256-258 266,266,共4页尚海龙 戴嘉维 马冰洋 张安明 廉政 李荣斌 李戈扬 
国家自然科学基金青年基金资助项目(51401120);上海市大学生创新活动计划资助项目(2013scx30)
截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样...
关键词：薄膜 TEM 截面样品 样品制备 
韧性基体上硬质涂层的扫描电镜截面样品制备方法被引量：3
《理化检验（物理分册）》2007年第10期512-513,539,共3页乌晓燕 戴嘉维 李戈扬 
以不锈钢表面涂覆AlN/SiO2纳米多层涂层样品为例,介绍了一种制备韧性基体硬质涂层的截面扫描电子显微镜观察样品的方法,取得了较好的效果。
关键词：扫描电镜截面样品 硬质涂层 韧性基体 
金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法
《真空科学与技术学报》2007年第6期545-548,共4页黄碧龙 吴莹 戴嘉维 李戈扬 
国家自然科学基金项目(No.50571062)
提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响。
关键词：硬质薄膜 内应力 
VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应被引量：2
《上海交通大学学报》2006年第10期1758-1762,共5页孔明 董云杉 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 
国家自然基金资助项目(50571062)
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V...
关键词：VN/(Ti Al)N纳米多层膜 晶体生长 共格界面 力学性能 
反应溅射Nb-Si-N薄膜的微结构与力学性能被引量：4
《上海交通大学学报》2006年第10期1763-1766,共4页刘艳 董云杉 戴嘉维 李戈扬 
上海市科学技术基金资助项目(037252052)
在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明,采用反应磁控溅射技术通过控制混合气体中SiH...
关键词：Nb-Si-N薄膜 反应溅射 微结构 力学性能 
薄膜的截面TEM样品制备被引量：2
《电子显微学报》2006年第B08期202-203,共2页林舒 孔明 戴嘉维 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：薄膜材料 样品制备 TEM 截面 透射电子显微分析 材料微结构 薄膜生长 制备方法 
薄膜截面的TEM样品制备被引量：5
《理化检验（物理分册）》2006年第5期239-241,共3页戴嘉维 孔明 
针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN／SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程。
关键词：薄膜 截面TEM样品制备 超晶格 
TiN/TiB_2纳米多层膜的共格外延生长
《电子显微学报》2005年第4期275-275,共1页戴嘉维 岳建岭 李戈扬 
上海市专利技术再创新项目(No.03725052).
关键词：纳米多层膜 共格界面 外延生长 TIB2 TiN 超硬效应 纳米多层薄膜 调制周期 生长结构 
TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长被引量：3
《上海交通大学学报》2005年第2期324-328,共5页孔明 劳技军 张慧娟 戴嘉维 李戈扬 
上海纳米专项基金项目(0352nm084)
研究了TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长效应,采用磁控溅射法制备了一系列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC纳米多层膜以及TiN、SiC单层膜.利用透射电子显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪分析了多层膜的微结构.结果表...
关键词：TiN/SiC纳米多层膜 晶体生长 共格界面 立方碳化硅 
反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究
《电子显微学报》2004年第4期372-372,共1页戴嘉维 胡祖光 祝新发 陈练 李戈扬 
上海市专利技术二次开发项目 (No .0 3 72 5 0 5 2 )
关键词：钛-硅-氮复合薄膜 纳米晶体 反应溅射法 透射电子显微镜 结构分析 
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