张慧娟

作品数：3被引量：22H指数：2
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室更多>>
发文主题：力学性能晶体生长磁控溅射CRNX薄膜CRN更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《功能材料》更多>>
所获基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
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VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应被引量：2
《上海交通大学学报》2006年第10期1758-1762,共5页孔明 董云杉 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 
国家自然基金资助项目(50571062)
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V...
关键词：VN/(Ti Al)N纳米多层膜 晶体生长 共格界面 力学性能 
TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长被引量：3
《上海交通大学学报》2005年第2期324-328,共5页孔明 劳技军 张慧娟 戴嘉维 李戈扬 
上海纳米专项基金项目(0352nm084)
研究了TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长效应,采用磁控溅射法制备了一系列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC纳米多层膜以及TiN、SiC单层膜.利用透射电子显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪分析了多层膜的微结构.结果表...
关键词：TiN/SiC纳米多层膜 晶体生长 共格界面 立方碳化硅 
磁控溅射CrN_x薄膜的制备与力学性能被引量：17
《功能材料》2002年第5期500-502,共3页韩增虎 田家万 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列CrNx 薄膜 ,并利用EDS和XRD表征了薄膜的成分和相组成 ,采用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量。研究了氮分压对薄膜成分、相组成和力学性能的影响。结果表明 ,随氮分压的升高 ,薄膜...
关键词：制备 磁控溅射 CRNX薄膜 氮分压 力学性能 
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