CRNX薄膜

作品数：21被引量：81H指数：6
导出分析报告
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：朱生发刘天伟苟伟李国卿钟彬更多>>
相关机构：大连理工大学表面物理与化学重点实验室中国工程物理研究院中国科学院金属研究所更多>>
相关期刊：《核技术》《润滑与密封》《材料热处理学报》《航空材料学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金重庆市自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金重庆市科技攻关计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
质子交换膜燃料电池不锈钢双极板表面CrNx薄膜的制备及性能
《材料热处理学报》2025年第1期143-153,共11页李帅 翟志华 孙海东 邵明昊 姜金龙 
山东省重点研发计划(SYS202203)。
采用多弧离子镀技术,在316L不锈钢基底上制备了CrN_(x)薄膜。通过正交试验法分析了工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。结果表明:各工艺因素影响CrN_(x)薄膜的表面液滴数量、耐腐蚀性和界面接触电阻的重要性分别为:靶电流>基体偏压>...
关键词：金属双极板 CrNx 金属液滴 耐腐蚀性能 导电性 
氮气流量对热丝增强等离子体磁控溅射制备CrN_x薄膜组织结构与性能的影响被引量：6
《真空科学与技术学报》2017年第10期984-990,共7页张鑫 周艳文 高健波 郭媛媛 解志文 吕哲 
国家自然科学基金项目(51372109;51672119;51401201;51502126);辽宁省教育厅校企成果转化项目(601009817-01);辽宁省百千万人才项目(201571)
采用热丝增强等离子体磁控溅射技术在SKD61钢基体上制备了CrN_x薄膜,并分析研究了不同氮气流量对薄膜相结构、组织形貌、粗糙度、厚度、耐磨性、膜基结合力以及纳米硬度和弹性模量的影响。结果表明:在较宽的氮气流量变化范围内可制备出...
关键词：热丝增强等离子体磁控溅射 CRNX薄膜 氮气流量 结构 性能 
电弧离子镀CrN_x薄膜的组织结构与性能研究
《沈阳理工大学学报》2016年第6期23-27,共5页王怀川 李凤岐 赵彦辉 徐丽 于宝海 宋篪 
辽宁省自然科学基金资助项目(2014020091)
采用电弧离子镀技术在高速钢（HSS）基体上制备CrN_x薄膜,考察氮气气压对CrN_x薄膜的表面形貌、结构、显微硬度及摩擦系数的影响。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机等分别测试分析薄膜的表面形貌、薄膜的结构、显...
关键词：CRNX薄膜 电弧离子镀 氮气分压 显微硬度 摩擦系数 
氮气含量对反应射频磁控溅射制备CrN_x薄膜组织与性能的影响被引量：3
《重庆理工大学学报（自然科学）》2012年第12期21-25,共5页陈勇 李晖 许洪斌 王松 
国家自然科学基金资助项目(51275548);重庆市自然科学基金资助项目(CSTC2012jiB70002)
采用反应射频磁控溅射法在40Cr基体上制备CrNx薄膜,研究了不同氮气含量对薄膜组织形貌、粗糙度、沉积厚度以及纳米硬度和弹性模量的影响。结果表明:采用反应射频磁控溅射法在不同氮气含量下,可制备得到厚度均匀、表面质量好的CrNx薄膜;...
关键词：反应射频磁控溅射 CRNX薄膜 氮气含量 纳米硬度 弹性模量 
氮流量对贫铀表面磁控溅射CrN_x薄膜结构与性能的影响被引量：3
《无机材料学报》2012年第6期603-608,共6页朱生发 吴艳萍 刘天伟 杨锁龙 唐凯 魏强 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0203019)~~
金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀.为改善基体的抗腐蚀性能,采用非平衡磁控溅射技术在金属铀表面制备了不同氮含量的CrNx薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射技术(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、动电位极化曲线,分别研究...
关键词：贫铀 非平衡磁控溅射 CRNX薄膜 氮流量 腐蚀性能 
脉冲偏压对贫铀表面磁控溅射CrN_x薄膜结构与性能的影响被引量：2
《材料热处理学报》2012年第5期116-120,共5页朱生发 吴艳萍 刘天伟 黄河 江帆 唐凯 魏强 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0203019)
为改善金属铀基体的抗腐蚀性能,采用非平衡磁控溅射离子镀技术在不同偏压下于金属铀表面制备CrNx薄膜。采用SEM和AFM研究了薄膜形貌和表面粗糙度,采用X射线光电子能谱研究了薄膜表面的元素分布及化学价态。试验结果表明,采用磁控溅射在...
关键词：贫铀 非平衡磁控溅射 CRNX薄膜 
特种硬质薄膜的抗氧化性研究
《真空》2011年第6期32-34,共3页孙爱祥 赵广彬 张馨元 蒙志林 栾道成 
"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项资助(2009ZX04012-23);四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助
采用热阴极离子镀膜技术制备了CrNx薄膜。用XRD和XPS对氧化后试样的相结构和成分进行了研究,分析了高温氧化后薄膜的物相、成分变化对薄膜抗氧化性能的影响。结果表明在700℃薄膜中形成了完整的Cr2O3氧化膜,此时薄膜抗氧化性能较佳。
关键词：CRNX薄膜 热阴极离子镀 抗氧化性 XRD XPS 
电弧离子镀制备CrN_x薄膜中熔滴的结构表征与形成机制被引量：2
《真空科学与技术学报》2011年第6期681-685,共5页陈康敏 郑陈超 张晓柠 黄燕 关庆丰 宫磊 孙超 
江苏大学科技创新团队课题和江苏大学高级人才基金(07JDG032)资助
应用电弧离子镀技术,在不同的氮气分压(0.5~2.5 Pa)和脉冲偏压(0^-300 V)条件下对TC4基体沉积CrNx薄膜,采用扫描电镜和透射电镜对镀膜过程中产生的熔滴现象进行分析研究。结果表明,升高氮气分压能减少靶材排出粒子团数量,改变等离子体...
关键词：电弧离子镀 CRNX薄膜 熔滴 扫描电镜 透射电镜 
高功率脉冲非平衡磁控溅射制备CrNx薄膜及其性能研究被引量：1
《核技术》2010年第12期951-954,共4页牟晓东 牟宗信 王春 臧海荣 刘冰冰 董闯 
国家自然科学基金(50407015);辽宁省教育厅科研项目资助
高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)溅射粒子离化率高,可沉积致密、高性能薄膜,作为一种新技术在国外广泛研究。本文用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术(HPPUMS)制备一系列CrN_x薄膜,采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)对不同厚度的薄膜表...
关键词：薄膜 气相沉积 脉冲功率 CrNx 硬度 
磁控溅射CrNx薄膜的接触电阻及其耐腐蚀性能被引量：1
《中国表面工程》2010年第6期30-33,39,共5页谭俊 邢汝鑫 钱耀川 
重点实验室基金项目(9140C8502021003)
采用磁控溅射工艺,在304不锈钢表面沉积CrNx薄膜。采用扫描电子显微镜(SEM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜形貌,采用能谱仪(EDS)和X射线光电子能谱(XPS)分析薄膜的元素组成和化学价态;测试了其接触电阻及耐腐蚀性能。结果表明:...
关键词：燃料电池 金属双极板 磁控溅射 CrNx 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部