田家万

作品数：15被引量：68H指数：5
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
发文主题：力学性能纳米多层膜微结构磁控溅射氮分压更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《功能材料》《机械工程学报》《材料工程》更多>>
所获基金：上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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AlN/VN纳米多层膜的共格生长与超硬效应被引量：3
《机械工程学报》2004年第12期56-59,共4页李戈扬 劳技军 田家万 韩增虎 
上海市纳米专项基金资助项目(0352nm084)。
研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响。一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探...
关键词：A1N/VN纳米多层膜 亚稳相 立方氮化铝 超硬效应 
N_2分压对磁控溅射NbN薄膜微结构与力学性能的影响被引量：5
《上海交通大学学报》2004年第1期120-124,共5页韩增虎 胡晓萍 田家万 李戈扬 顾明元 
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,AFM观察了薄膜的表面形貌并测量了压痕尺寸以校验硬度值的准确性.研究了氮分压对薄膜相组成、微...
关键词：NbN薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
两步压入法——薄膜力学性能的可靠测量方法被引量：20
《机械工程学报》2003年第6期71-74,共4页田家万 韩增虎 赖倩茜 虞晓江 李戈扬 
提出了采用力学探针测量薄膜力学性能的两步压入法。该方法通过大载荷压入展示基体变形对薄膜硬度的影响,从而选择不影响基体变形的小载荷测出薄膜的硬度和弹性模量。对高速钢基片上的TiN硬质薄膜,单晶硅片上的金属Ni薄膜和(Ti,Al)N/VN...
关键词：薄膜 力学性能 测量方法 两步压入法 纳米多层膜 硬度 弹性模量 
W/Mo纳米多层膜的界面结构与超硬效应被引量：4
《稀有金属材料与工程》2003年第1期1-4,共4页李戈扬 韩增虎 田家万 张流强 顾明元 
研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应。W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度。结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距...
关键词：W/Mo纳米多层膜 界面结构 超晶格 超硬效应 
纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察被引量：5
《电子显微学报》2002年第5期633-634,共2页田家万 劳技军 虞晓江 李戈扬 宁兆元 
关键词：纳米多层膜 AIN 外延生长 HRTEM 高分辨电子显微镜 立方相 氮化铝 
硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择被引量：2
《电子显微学报》2002年第5期635-636,共2页赖倩茜 田家万 戴嘉维 李戈扬 
关键词：硬质薄膜 硬度测量 载荷选择 力学性能 显微测量 
基片温度对TiB_2薄膜生长形貌及力学性能的影响
《电子显微学报》2002年第5期637-638,共2页虞晓江 田家万 邵楠 李戈扬 
关键词：基片温度 TiB2薄膜 生长形貌 力学性能 硼化钛薄膜 测量分析 
NbN薄膜的反应磁控溅射沉积被引量：2
《电子显微学报》2002年第5期641-642,共2页韩增虎 赖倩茜 田家万 李戈扬 
关键词：NbN薄膜 反应磁控溅射沉积 氮分压 微结构 力学性能 TEM XRD 
力学探针两步压入法研究(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应
《材料工程》2002年第6期10-13,共4页田家万 韩增虎 虞晓江 赖倩茜 李戈扬 
提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法 ,并用此方法研究了 (Ti,Al) N/ Al N纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系。结果表明 ,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小...
关键词：力学探针 N/AlN纳米多层膜 两步压入法 超硬效应 力学性能 硬度 氮 氮化铝 测量 
磁控溅射CrN_x薄膜的制备与力学性能被引量：17
《功能材料》2002年第5期500-502,共3页韩增虎 田家万 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列CrNx 薄膜 ,并利用EDS和XRD表征了薄膜的成分和相组成 ,采用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量。研究了氮分压对薄膜成分、相组成和力学性能的影响。结果表明 ,随氮分压的升高 ,薄膜...
关键词：制备 磁控溅射 CRNX薄膜 氮分压 力学性能 
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