胡晓萍

作品数：12被引量：65H指数：5
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发文主题：微结构超硬效应力学性能超硬反应溅射更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《物理学报》《电子显微学报》《上海交通大学学报》《功能材料》更多>>
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TiN/Si_3N_4界面结构对Ti-Si-N纳米晶复合膜力学性能的影响被引量：2
《上海交通大学学报》2005年第8期1363-1367,共5页胡晓萍 梅芳华 邵楠 李戈扬 顾明元 
上海市纳米技术专题基金资助项目(0352nm084)
采用多层膜模拟的方法研究了Ti-Si-N纳米晶复合膜中Si3N4界面相的存在方式,以探讨纳米晶复合膜的超硬机制.研究结果表明Si3N4层厚对TiN/Si3N4多层膜的微结构和力学性能有重要影响.当Si3N4层厚小于0.7nm时,因TiN晶体的“模板效应”,原为...
关键词：界面结构 纳米晶复合膜 共格外延生长 超硬效应 
Ti-Si-N复合膜的界面相研究被引量：5
《物理学报》2005年第8期3774-3779,共6页孔明 胡晓萍 董云杉 李戈扬 顾明元 
上海市纳米技术专项基金(批准号:0352nm084)资助的课题.~~
为了揭示Ti_Si_N复合膜中Si3N4界面相的存在方式及其对薄膜力学性能的影响,采用x射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和显微硬度仪对比研究了磁控溅射Ti_Si_N复合膜和TiN/Si3N4多层膜的微结构和力学性能.实验结果表明,Ti_...
关键词：TI-SI-N 复合膜 界面相 高分辨透射电子显微镜 Si3N4 俄歇电子能谱仪 X射线衍射仪 力学性能 显微硬度仪 微结构特征 存在方式 磁控溅射 对比研究 纳米晶粒 超硬效应 强化机制 多层膜 TiN 高硬度 薄膜 非晶态 含量 体态 
TiN/Si_3N_4纳米多层膜的生长结构与超硬效应被引量：13
《真空科学与技术学报》2005年第4期263-267,274,共6页胡晓萍 董云杉 孔明 李戈扬 顾明元 
上海市纳米专项基金(0352nm084)
采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层厚对多层膜生长结构和力学性能的影响。结果表明:当Si3N4层厚...
关键词：TiN/Si3N4纳米多层膜 Si3N4晶化 外延生长 超硬效应 
反应溅射Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能被引量：1
《功能材料》2005年第1期44-46,共3页董云杉 孔明 胡晓萍 李戈扬 顾明元 
上海市纳米专项基金资助项目(0352nm084)
采用 Ar、N2 和 SiH4 混合气体反应溅射制备了一系列不同 Si 含量的 Ti- Al- Si- N 薄膜,并采用EDS、AES、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的微结构和力学性能。结果表明通过控制混合气体中SiH4 分压可以方便地获得不同 Si 含量的 Ti- A...
关键词：反应溅射 纳米晶复合薄膜 微结构 力学性能 
反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能被引量：3
《真空科学与技术学报》2004年第4期267-270,共4页梅芳华 邵楠 胡晓萍 李戈扬 顾明元 
上海市纳米科技专项基金项目 ( 0 3 5 2nm0 84)
采用Ar、N2 和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti Si N复合膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了复合膜的微结构和力学性能。结果表明 ,通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti Si N复合膜。当Si含量...
关键词：SI3N4 力学性能 反应溅射 纳米晶 高硬度 力学探针 微结构 界面相 复合膜 复合薄膜 
N_2分压对磁控溅射NbN薄膜微结构与力学性能的影响被引量：5
《上海交通大学学报》2004年第1期120-124,共5页韩增虎 胡晓萍 田家万 李戈扬 顾明元 
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,AFM观察了薄膜的表面形貌并测量了压痕尺寸以校验硬度值的准确性.研究了氮分压对薄膜相组成、微...
关键词：NbN薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
AlN在AlN/VN纳米多层膜中的相转变及其对薄膜力学性能的影响被引量：16
《物理学报》2003年第9期2259-2263,共5页劳技军 胡晓萍 虞晓江 李戈扬 顾明元 
采用反应磁控溅射制备了AlN VN纳米多层膜 .研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的力学性能 .结果表明 :小周期多层膜中的AlN以亚稳的立方相 (c AlN)存在并与VN形成共格外延生长的超晶格 .薄膜产生硬度和弹性模量升...
关键词：AlN/VN纳米多层膜 相转变 力学性能 外延生长 亚稳相 氮化铝 反应磁控溅射 结构 
c-AIN的生长对AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜力学性能的影响被引量：7
《材料研究学报》2003年第3期326-331,共6页胡晓萍 李戈扬 顾明元 
采用反应磁控溅射制备了具有不同调制周期的AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜,研究了亚稳相立方氮化铝(c-AIN)在纳米多层膜中的生长条件及其对薄膜力学性能的影响。结果表明:在小调制周期下AIN以立方结构存在,并与(Ti,Al)N层形成同结构共格外延生...
关键词：无机非金属材料 材料表面与界面 纳米多层膜 亚稳相 力学性能 立方氮化铝 
Si含量和基片温度对Ti-Si-N纳米复合薄膜的影响被引量：15
《上海交通大学学报》2003年第2期252-256,共5页胡晓萍 李戈扬 戴嘉维 丁正明 顾明元 
通过多靶磁控反应溅射方法沉积了 Ti- Si- N系纳米复合薄膜 .采用电子能谱仪 (EDS)、X-射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)、X-射线光电子能谱 (XPS)和显微硬度仪分析 Ti- Si- N系薄膜的微观结构和力学性能 ,以及基片温度对薄膜微结...
关键词：Ti-Si-N纳米复合薄膜 反应溅射 微结构 超硬性 
Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性被引量：5
《电子显微学报》2002年第5期631-632,共2页胡晓萍 虞晓江 赖倩茜 李戈扬 
关键词：Ti-Si-N纳米复合薄膜 超硬性 耐磨减摩涂层 机械性能 氮化钛薄膜 
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