梅芳华

作品数：8被引量：38H指数：3
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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
发文主题：力学性能TIN反应溅射超硬效应微结构更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《上海交通大学学报》《材料研究学报》《表面技术》《物理学报》更多>>
所获基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
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射频反应溅射(Al,Ti)N涂层的微结构与力学性能被引量：2
《材料工程》2005年第9期48-52,共5页赵文济 梅芳华 董云杉 李戈扬 
上海市科学技术开发基金资助项目(037252052)
采用Al-Ti镶嵌复合靶在不同氮分压下制备了一系列(Al,Ti)N涂层,并采用EDS,AFM,XRD,TEM和微力学探针表征了涂层的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能,研究了氮分压对涂层的影响。结果表明,氮分压对(Al,Ti)N涂层影响显著:合适的氮分压...
关键词：(Al Ti)N涂层 反应溅射 微结构 力学性能 
TiN/Si_3N_4界面结构对Ti-Si-N纳米晶复合膜力学性能的影响被引量：2
《上海交通大学学报》2005年第8期1363-1367,共5页胡晓萍 梅芳华 邵楠 李戈扬 顾明元 
上海市纳米技术专题基金资助项目(0352nm084)
采用多层膜模拟的方法研究了Ti-Si-N纳米晶复合膜中Si3N4界面相的存在方式,以探讨纳米晶复合膜的超硬机制.研究结果表明Si3N4层厚对TiN/Si3N4多层膜的微结构和力学性能有重要影响.当Si3N4层厚小于0.7nm时,因TiN晶体的“模板效应”,原为...
关键词：界面结构 纳米晶复合膜 共格外延生长 超硬效应 
TiN/TiB_2异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能被引量：7
《物理学报》2005年第10期4846-4851,共6页魏仑 梅芳华 邵楠 董云杉 李戈扬 
上海市纳米技术专项基金(批准号:No.0352nm084)资助的课题.~~
采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同TiB2调制层厚度的TiN/TiB2纳米多层膜.利用x射线衍射仪、高分辨电子显微镜和微力学探针研究了TiB2层厚变化对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,在fcc-TiN层(111)生长面的模板作用下,原...
关键词：TiN/TiB2纳米多层膜 共格生长 晶体化 力学性能 纳米多层膜 TIB2 共格关系 生长结构 TIN 异结构 
SiO_2层晶化对TiN/SiO_2纳米多层膜结构和性能的影响被引量：2
《材料研究学报》2005年第5期478-484,共7页魏仑 邵楠 梅芳华 李戈扬 
上海市科技基金资助项目(No.037252052)~~
采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同SiO2调制层厚的TiN/SiO2纳米多层膜.利用X射线衍射,X射线能量色散谱、扫描电子显微镜、高分辨电子显微镜和微力学探针表征和研究了多层膜的生长结构和力学性能.结果表明,具有适当厚度(0.45-0.9nm...
关键词：无机非金属材料 TiN/SiO2纳米多层膜 外延生长 非晶晶化 超硬效应 
TiN/SiO_2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应被引量：20
《物理学报》2005年第4期1742-1748,共7页魏仑 梅芳华 邵楠 李戈扬 李建国 
上海市纳米技术专项基金 (批准号 :0 3 2 5nm0 84)资助的课题~~
高硬度的含氧化物纳米多层膜在工具涂层上具有重要的应用价值 .研究了TiN SiO2 纳米多层膜的晶体生长特征和超硬效应 .一系列具有不同SiO2 和TiN调制层厚的纳米多层膜采用多靶磁控溅射法制备 ;采用x射线衍射、x射线能量色散谱、高分辨...
关键词：氮化钛 二氧化硅 纳米多层膜 晶体生长 超硬效应 
氮分压对反应溅射(Ti,Al)N薄膜微结构与力学性能的影响被引量：2
《真空科学与技术学报》2005年第1期61-64,共4页梅芳华 邵楠 魏仑 李戈扬 
上海市专利技术二次开发项目 (No 0 3 72 5 2 0 5 2 )
采用Ti Al复合靶在不同氮分压下制备了一系列 (Ti,Al)N薄膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针表征了薄膜的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能。结果表明 ,氮分压对 (Ti,Al)N薄膜影响显著 :合适的氮分压可以得到化学计量比的(Ti,Al)N薄...
关键词：(TI AL)N 薄膜 力学性能 硬度 力学探针 相组织 EDS 分压 反应溅射 微结构 
反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能被引量：3
《真空科学与技术学报》2004年第4期267-270,共4页梅芳华 邵楠 胡晓萍 李戈扬 顾明元 
上海市纳米科技专项基金项目 ( 0 3 5 2nm0 84)
采用Ar、N2 和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti Si N复合膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了复合膜的微结构和力学性能。结果表明 ,通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti Si N复合膜。当Si含量...
关键词：SI3N4 力学性能 反应溅射 纳米晶 高硬度 力学探针 微结构 界面相 复合膜 复合薄膜 
反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能被引量：3
《表面技术》2003年第3期10-12,共3页邵楠 梅芳华 董云杉 李戈扬 
采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜 ,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构 ,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量 ,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌 ,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力...
关键词：TiC薄膜 反应磁控贱射 微结构 力学性能 
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