Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性  

The superhardness of the Ti-Si-N nanocomposite films

作　　者：胡晓萍[1] 虞晓江[1] 赖倩茜[1] 李戈扬[1] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030

出　　处：《电子显微学报》2002年第5期631-632,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：Ti-Si-N纳米复合薄膜 超硬性 耐磨减摩涂层 机械性能 氮化钛薄膜 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]