纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察  

HRTEM observation of epitaxial cubic AlN in nano-scale multilayers

作　　者：田家万[1] 劳技军[1] 虞晓江[1] 李戈扬[1] 宁兆元[2] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030 [2]苏州大学薄膜材料重点实验室,江苏苏州215006

出　　处：《电子显微学报》2002年第5期633-634,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：纳米多层膜 AIN 外延生长 HRTEM 高分辨电子显微镜 立方相 氮化铝 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]