硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择  

Load selection in microhardness measurement of hard thin films

作　　者：赖倩茜[1] 田家万[1] 戴嘉维[2] 李戈扬[1] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030 [2]上海交通大学高温材料及高温测试教育部开放实验室,上海200030

出　　处：《电子显微学报》2002年第5期635-636,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：硬质薄膜 硬度测量 载荷选择 力学性能 显微测量 

分 类 号：TB43[一般工业技术]