纳米多层薄膜

作品数：20被引量：84H指数：6
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：王立平薛群基曹保胜李戈扬王浪平更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院河北大学上海交通大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《有色金属材料与工程》《湘潭大学学报（自然科学版）》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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湿度对a-C:Ti/a-C:Si纳米多层薄膜摩擦学行为的影响
《表面技术》2024年第21期34-43,共10页赵春梅 牛心悦 徐正田 王少峰 施志军 邢晓磊 周野飞 
国家自然科学基金(52205205、52375208);河北省自然科学基金(E2024203093、E2024203056、E2024203127、E2020203022);河北省省级科技计划资助(236Z1809G);航空科学基金(201945099002);特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室开放基金项目(CBGZJJ2023-2-04)。
目的沉积出具有纳米级多层结构的a-C:Ti/a-C:Si薄膜来改善非晶碳薄膜的湿度适应性。方法通过磁控溅射技术在硅片和304不锈钢试样表面交替沉积a-C:Ti薄膜和a-C:Si薄膜,并进行了薄膜截面形貌表征。通过纳米压痕测试表征了复合薄膜的力学性...
关键词：多层结构 a-C:Ti/a-C:Si纳米多层膜 a-C:Si层 力学性能 摩擦学性能 相对湿度 
MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜结构设计及其宽温域摩擦性能研究被引量：1
《表面技术》2024年第11期80-89,170,共11页高臻荣 候果源 任思明 
国家自然科学基金(52375220)。
目的探究环境温度对MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜摩擦磨损性能的影响,探讨并揭示薄膜在高温环境下的损伤机理。方法采用非平衡磁控溅射技术制备MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜,评价Ti、WC双功能组元以及纳米多层结构设计对薄膜表面形貌和微观...
关键词：磁控溅射 MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜 环境适应性 高温润滑性能 摩擦磨损 
含过渡金属氮化物的纳米多层薄膜增韧的研究进展被引量：2
《有色金属材料与工程》2021年第3期48-60,共13页周超 马迅 李伟 程文杰 祝新发 梁汝田 鄂金 韩璇 魏晨光 
国家自然科学基金资助项目(51971148,51471110)。
过渡金属氮化物(transition metal nitrides,TMNs)因具有硬度高、热稳定性好等特点,被作为一种硬质纳米多层薄膜在工程领域得到广泛使用。但TMNs低的韧性限制了其作为纳米多层薄膜在先进制造领域的发展。如何在保持高硬度的前提下增加...
关键词：纳米多层薄膜 过渡金属氮化物 增韧 超硬 
基体偏压对磁控溅射制备CrAlN纳米多层薄膜微观结构和力学性能的影响被引量：6
《机械工程材料》2021年第3期41-45,共5页王宇星 张侠 
浙江省自然科学基金资助项目(Y15E050060)。
采用磁控溅射技术在不同基体偏压(-60,-70,-80,-90 V)下制备了CrAlN纳米多层薄膜,研究了基体偏压对薄膜微观结构和力学性能的影响。结果表明:随着基体偏压绝对值增大,CrAlN纳米多层薄膜中的氮含量增加,物相组成不变,择优取向由CrN(111)...
关键词：CrAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 基体偏压 微观结构 力学性能 
金属有机物分解法制备HfO2-ZrO2纳米多层薄膜及其铁电性能研究
《湘潭大学学报（自然科学版）》2019年第5期85-92,共8页汤林 刘逸群 陈海燕 陈永红 周科朝 张斗 
国家自然科学基金项目(51602350)
HfO2基铁电薄膜是一种环境友好型的铁电材料,具有尺寸可缩放性、与CMOS兼容性好等多方面优势,有望代替传统钙钛矿结构材料成为铁电存储器件的主要组成材料之一.近年来,已有相关研究表明Zr掺杂的HfO2基薄膜具有良好的铁电性.然而,针对其...
关键词：薄膜 纳米多层 铁电性 金属有机物分解 
南海海洋大气环境二硫化钼纳米多层薄膜摩擦学行为研究被引量：11
《摩擦学学报》2018年第4期417-429,共13页商克栋 郑韶先 鞠鹏飞 蒲吉斌 张广安 王立平 薛群基 
国家自然科学基金项目(U1737214;51775539)资助~~
MoS_2薄膜在湿热大气环境长期存储后,由于严重的氧化导致其摩擦学性能大幅劣化,通常表现出较高的摩擦系数和较短的使用寿命.为了改善MoS_2薄膜在湿热大气环境下的抗氧化和摩擦学性能,通过非平衡闭合场磁控溅射技术制备了MoS_2/Pb-Ti纳...
关键词：Mo S2/Pb-Ti纳米多层薄膜 海洋大气环境 抗氧化性能 摩擦学性能 
CrAlYN纳米多层薄膜的微观结构和抗高温氧化性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2017年第11期1075-1079,共5页王宇星 楼白杨 巫少龙 
浙江省教育厅科研项目资助(Y201738020)
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积不同Y含量的Cr Al YN纳米多层薄膜,并在静态空气中进行1000℃的高温氧化实验。透射电子显微镜、扫描电镜、X射线衍射、能量色散谱、纳米压痕和划痕实验等研究结果表明:Cr Al YN...
关键词：CrAlYN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 高温氧化 
微纳尺度TiN多层薄膜/涂层力学性能研究进展
《真空科学与技术学报》2016年第10期1085-1091,共7页靳巧玲 王海斗 李国禄 张建军 刘金娜 
北京市自然科学基金重大项目(3120001);国家973计划(2011CB013405);国家杰出青年科学基金项目(51125023);国家自然科学基金项目(51275151)资助支持
TiN纳米多层薄膜/涂层由于其高的硬度、耐磨性和断裂韧性等优点在精密刀具和模具方面备受青睐。近些年TiN纳米多层薄膜在力学性能方面的研究主要集中于超硬性能、摩擦磨损性以及断裂韧性三个方面。本文分别从膜层间作用关系、微观结构...
关键词：TIN 纳米多层薄膜 超硬机理 超硬性 摩擦磨损 断裂韧性 
Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响被引量：10
《金属学报》2016年第6期727-733,共7页楼白杨 王宇星 
浙江省自然科学基金资助项目Y15E050060~~
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积多元CrMoAlN纳米多层薄膜.利用EDS,SEM,XRD,XPS,纳米压痕仪和销盘磨损试验仪研究Mo含量对CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相结构、化学价态、显微硬度和摩擦性能的影响.结果...
关键词：CrMoAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能 
Al/Ni和Al/Ti纳米多层薄膜制备与表征被引量：5
《含能材料》2013年第6期749-753,共5页李东乐 朱朋 付帅 沈瑞琪 叶迎华 华天丽 
国家自然科学基金资助(51201091)
用磁控溅射法制备了Al/Ni、Al/Ti纳米多层薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射仪(XRD)对其进行了结构表征和成分分析。用差示扫描量热法(DSC)测定了纳米多层薄膜的反应放热量。结果表明:工作压力为0.4 ...
关键词：军事化学与烟火技术 AL Ni纳米多层薄膜 AL Ti纳米多层薄膜 磁控溅射 结构表征 热分析 
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