平面集成微透镜阵列的研制  

Research and development of planar integrated microlens arrays

作　　者：覃亚丽[1] 毛培法[1] 王家诒[1] 石旭刚[1] 

机构地区：[1]浙江工业大学浙江省光纤通信技术重点实验室,浙江杭州310032

出　　处：《浙江工业大学学报》2001年第1期51-55,共5页Journal of Zhejiang University of Technology

基　　金：浙江省自然科学基金项目 !(6 990 0 2 )

摘　　要：介绍了集成微透镜阵列光学器件 ,建立了开孔式离子扩散的数学模型 ,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数 。The high-technology optical device of ion-exchanged microlens arrays is described. The mathematical model of the ion diffusion for aperture-mask is established and the solution is found. And a planar integrated microlens array is produced,Finally, the results are given and discussed them.

关 键 词：平面集成 微透镜阵列 集成光学 离子交换 光学器件 

分 类 号：TH740.2[机械工程—光学工程]