激光反馈干涉－计算机细分的小位移测量  

Small Displacement Measurement by Using Feed-back Laser Interferometer and Computer Subdivision

作　　者：李天初[1] 方占军[1] 王民明[1] 谭小地[1] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,西安工业学院

出　　处：《计量学报》1995年第3期196-199,共4页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：本文简述了光反馈激光开关干涉的基本原理，详细描述了应用计算机图象处理技术对方波信号进行内插细分的小位移测量方法及测量装置。使用这种方法可以达到０．００２μｍ的分辨率，其测量不确定度为０．０２μｍ（２σ）。实验表明，这种方法适用于在实验室条件下对小位移进行精密测量。After reviewing the principle of the feed-back flip-flop laser interferometer, this paper reports the technique for measuring small displacement by interpolating subdivision of square-wave signal from the feed-back interferometer. A measurement uncertainty of 0.02μm(2σ) has been achieved. This technique can be used to measure small displacement precisely in laboratory conditions.

关 键 词：干涉测量 位移测量 激光开关 分辨率 

分 类 号：TH822.07[机械工程—仪器科学与技术]