共焦球面扫描激光干涉仪研制  

作　　者：魏成斌[1] 陈斌[1] 等 

机构地区：[1]中国测试技术研究院

出　　处：《激光集锦》1994年第4期21-22,共2页

关 键 词：无损检测 共焦球面扫描 激光干涉仪 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]