用硼铝二氧化硅乳胶源制造快速晶闸管  

作　　者：周立波 

机构地区：[1]国营七七七厂

出　　处：《电力电子技术》1992年第1期55-57,64,共4页Power Electronics

摘　　要：使用硼铝二氧化硅乳胶源制出500A，1600V快速晶闸管，其主要参数di/dt≥300A／us，du/dt≥500V/us，本文介绍了该器件的结构特点，理论设计及关键工艺。

关 键 词：快速晶闸管 扩散源 半导体工艺 乳胶源 硼铝二氧化硅 

分 类 号：TN34[电子电信—物理电子学]