CMOS兼容湿度传感器的研究进展  

Development of CMOS Compatible Humidity Sensor

作　　者：严先蔚[1] 秦明[1] 黄庆安[1] 

机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096

出　　处：《电子器件》2001年第1期48-54,共7页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：本文主要介绍几种与 CMOS工艺兼容的湿度传感器的结构、工艺、特点以及处理电路 ,并对湿度传感器的发展趋势作了探讨。In this paper, we present the design principle and fabrication method of six different CMOS compatible humidity sensors and their measuring circuits. The prospect of the humidity sensor is also discussed.

关 键 词：CMOS兼容 湿度传感器 结构 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]