数字式石英晶振真空计  

A Digital Quartz Oscillator Vacuum Gauge

作　　者：齐本胜[1] 凌明芳[1] 王华萍[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息电子工程系,杭州市310027

出　　处：《仪表技术与传感器》2001年第4期15-16,24,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：国家九五科技攻关项目

摘　　要：文中介绍一种新型数字式能测量粗中真空度的真空计和传感器的硬件设计。The hardware designs of a new kind of digital vacuum gauge used to measure rough and moderate vacuum and the quartz oscillator sensor are introduced in this paper.

关 键 词：真空计 传感器 晶体振荡器 真空度 石英晶度 

分 类 号：TB772[一般工业技术—真空技术]