硅片电阻的激光微调  

作　　者：姜霞 

出　　处：《混合微电子技术》1991年第4期28-34,共7页Hybrid Microelectronics Technology

关 键 词：硅片 电阻 激光微调 集成电路 工艺 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]