单一添加剂氮化铝陶瓷基片的研制  

作　　者：崔嵩 黄岸兵 

出　　处：《混合微电子技术》1991年第4期46-53,共8页Hybrid Microelectronics Technology

关 键 词：氮化铝 陶瓷基片 工艺 助剂 

分 类 号：TN304.82[电子电信—物理电子学]