纳米精度外差椭偏仪的研制  

作　　者：巨养锋[1] 阮双琛[1] 等 

机构地区：[1]深圳大学工程技术学院，深圳518060

出　　处：《光子学报》2000年第Z01期134-139,共6页Acta Photonica Sinica

摘　　要：本文介绍了各种椭偏仪的原理及性能，重点对外差式椭偏仪进行介绍，并对提出的几种外差透射椭偏仪的原理进行了实验验证。

关 键 词：椭偏仪 薄膜 测量 外差干涉 

分 类 号：TH744.21[机械工程—光学工程]