用于Si基RCE光电探测器SOR衬底的研制  

作　　者：李成[1] 杨沁清[1] 等 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京100083

出　　处：《光子学报》2000年第Z01期365-368,共4页Acta Photonica Sinica

摘　　要：随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器SOR衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基片。设计和模拟了基于该衬底的SiGeRCE光电探测器，结果表明该结构可以大幅度提高Si基探测器的量子效率。

关 键 词：共振腔光电探测器 计算机模拟 溶胶-凝胶方法 硅基 SOR衬底 锗化硅 量子效率 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]