阳极氧化铝薄膜多层布线基板技术  

作　　者：王立春[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子43所

出　　处：《混合微电子技术》2001年第1期34-37,47,共5页Hybrid Microelectronics Technology

关 键 词：阳极 氧化铝 薄膜 多层布线基板 印刷电路 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]