硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成  

Si Microlens Arrays Integration with IR Focal Plane Arrays Device

作　　者：陈四海 孔令斌 何苗 易新建 

机构地区：[1]华中科技大学光电子工程系

出　　处：《华中科技大学学报（自然科学版）》2001年第5期29-31,共3页Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition)

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目;国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 86 0 0 3)

摘　　要：基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵列的灵敏度R和比探测率D 都提高了 1.Diffractive Si microlens arrays are fabricated by part etching method. The 256×256 element microlens arrays on the back side of the Si substrate and PtSi IR focal plane arrays (IRFPA) on the front side of the same wafer are monolithic integrated together. The IR response characteristics of the integration device are improved.

关 键 词：二元化学 部分刻蚀法 微透镜阵列 红外焦平面阵列 单片集成 衍射微透镜 

分 类 号：TH744[机械工程—光学工程]