彩色PDP光刻工艺的优化理论和设计  

Optimization of Lithography Used in Design and Fabrication of Color Plasma Display Panel

作　　者：刘忠安[1] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心,南京210016

出　　处：《真空科学与技术》2001年第3期217-219,共3页Vacuum Science and Technology

摘　　要：提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法 ,并用实例说明了该理论的实用性。A novel technique,the effective time difference method,was proposed to simulate lithographic processes and to optimize the various parameters in designing and fabricating color plasma display panel (PDP).The feasibility of the technique was validated with experiments.

关 键 词：有效时差 光刻工艺 彩色等离子体显示器 优化设计 光刻参数 

分 类 号：TN141.5[电子电信—物理电子学] TN105