分压强质谱计校准装置的研制  

Calibration System of Partial Pressure Mass Spectrometer

作　　者：李得天[1] 李正海[1] 冯焱[1] 张涤新[1] 张建军[1] 许珩[1] 龚月莉 李莉[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术》2001年第3期237-241,共5页Vacuum Science and Technology

摘　　要：分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法 ,并给出了分压强测量的不确定度分析。A novel system used to calibrate partial pressure mass spectrometer was developed.The operation principle,the structure and the measurement technique,and the error analysis of the system were discussed.

关 键 词：分压强 测量 质谱计 校准 校准装置 

分 类 号：TB773[一般工业技术—真空技术]