用扫描电镜制备高性能AFM针尖  被引量:3

High quality tip of AFM made by SEM

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作  者:徐军[1] 陈文雄[1] 尤力平[1] 张会珍[1] 

机构地区:[1]北京大学电子显微镜实验室,北京100871

出  处:《电子显微学报》2001年第4期304-305,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词:扫描电镜 纳米材料 AFM针尖 导电性 电子束诱导沉积 

分 类 号:TN16[电子电信—物理电子学]

 

参考文献:

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