SEM二次电子成像在半导体陶瓷电容器研制中的应用  

The application of SEM secondary electron in study of semiconductive ceramic capacitor

作　　者：章仲涛 李静 王振平 章士瀛 

机构地区：[1]东莞宏明南方电子陶瓷有限公司,东莞523077

出　　处：《电子显微学报》2001年第4期402-403,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：半导体陶瓷电容器 SEM 二次电子成像 应用 瓷坯 氧化介质层 晶格缺陷 

分 类 号：TM53[电气工程—电器]