压电超声微电机的研究现状与应用前景  

Research Status and Application Future of Piezoelectric Ultrasonic Micro Motor

作　　者：栗大超[1] 靳世久[1] 曾周末[1] 赵伯雷[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《微电机》2001年第3期31-34,共4页Micromotors

基　　金：教育部博士点基金资助课题 (19990 0 5 6 0 7)

摘　　要：从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。According to the type and principle and structure, this article discusses the research status and the development direction now of piezoelectric ultrasonic line micro motor. On this base, some key technology and application future of piezoelectric ultrasonic micro motor are analyzed by this paper.

关 键 词：压电超声微电机 MEMS 直梁结构 压电材料 

分 类 号：TM38[电气工程—电机]