薄膜厚度测量研究  

作　　者：徐志玲[1] 吴飞飞[1] 

机构地区：[1]中国计量学院计量技术工程学院

出　　处：《上海计量测试》2001年第2期32-33,共2页Shanghai Measurement and Testing

摘　　要：本文介绍一种简便的薄膜厚度测量方法。可在普通的光切显微镜上 ,利用光切原理测量薄膜厚度。能测量 0 .8～ 80微米的薄膜厚度。

关 键 词：薄膜 厚度测量 光切显微镜 光切原理 

分 类 号：TH741.8[机械工程—光学工程]