椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理  

Ellipsometer data processing for thin film measurement

作　　者：王洪涛[1] 

机构地区：[1]四川大学材料科学系,成都610064

出　　处：《物理实验》2001年第7期8-11,17,共5页Physics Experimentation

摘　　要：利用实时作图的方法 ,开发设计了椭偏仪数据处理应用程序 .该程序不但具有传统查图法简便直观的特点 ,而且不限制实验条件的选择 ,能够满足科学研究和实验教学的要求 .利用该程序和多入射角测量方法 。An integrated software for ellipsometer data processing is introduced. With real time graphic construction, this software successfully solves the difficulties in ellipsometer data processing. It is a helpful tool for research work and educational purpose. With this software, the real thickness of thin films is determined by multiple incident angle measurement.

关 键 词：椭圆偏振 测量 椭偏仪 计算机数据处理 薄膜材料 光学参量 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]