实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统  

The Applied Automatic Measurement System on Oxygen and Carbon Concentrations in Silicon Crystal

作　　者：李光平[1] 李静[1] 王良[1] 汝琼娜[1] 何秀坤[1] 武惠忠 杨学军 

机构地区：[1]信息产业部电子第四十六研究所,天津55信箱300192 [2]北京第二光学仪器厂,北京100015

出　　处：《现代仪器》2001年第5期37-38,共2页Modern Instruments

摘　　要：实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。The applied automatic measurement software on oxygen and carbon concentrations in silicon crystal is the special purpose to be suitable for WQF series Fourier Transform Infrared( FTIR) spectrometer, which has the function of Chinese display. It is mainly used to measure oxygen and carbon concentrations in CZ and FZ silicons crystal.

关 键 词：氧 碳 傅里叶变换红外光谱 硅单晶 自动测量系统 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TP274.52[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]