电容传感器及其纳米量级定位技术  

Nanometer Accurate Position Technology

作　　者：张洪刚[1] 吴敬国[1] 郑义忠[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,军事医学科学院卫生装备研究所,天津市300072

出　　处：《仪表技术与传感器》2001年第10期3-5,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜 10m直径的主镜由 36块对角线长 1.8m的六角形子镜拼接而成 ,应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理的分析 ,阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施 ,并提出新型涂敷式差动传感器 ,采用新材料和高集成度的新器件 ,以满足传感器在温。This is introduction of controlling method and working theory of the mirror's shape, which is on the very large telescope in astronaut.The very large astronomical telescope has a main mirror with the spherical radius of 10 m composed of 36 hexagonal sub-mirrors.Each segment is 1.8m across the diagonal, with the technology of capacitor sensor micro-displacement measurement, at the accurate of nanometer.

关 键 词：电容测微仪 天文望远镜 电容传感器 面形控制 定位 

分 类 号：TH751[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]