面形控制

作品数：26被引量：83H指数：6
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相关作者：戴妍峰刘藻珍邵建达杜春雷杨明红更多>>
相关机构：北京理工大学中国科学院中国科学院大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《长春理工大学学报（自然科学版）》《系统仿真学报》更多>>
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光学元件抛光的PSD分析及控制策略
《应用光学》2022年第4期772-779,共8页汪志斌 田瑶 孙鹏程 张征 张峰 张云龙 焦明印 
装备预研共用技术基金资助(50923020401)。
在光学加工领域,采用功率谱密度(power spectral density,PSD)对误差频谱方面信息进行表征,但是功率谱密度是表面误差统计信息,不如峰谷值(peak-valley,PV)和均方根值(root mean square,RMS)直观。为了分析功率谱密度与工艺参数之间的关...
关键词：面形控制 PSD 加工轨迹 面形评价 
单晶硅反射镜的超精密磨削工艺被引量：13
《光学精密工程》2019年第5期1087-1095,共9页王紫光 康仁科 周平 高尚 董志刚 
国家自然科学基金重大研究计划集成项目(No.91323302);国家自然科学基金资助项目(No.51875078);国家自然科学基金青年基金项目(No.51505063);国家科技重大专项(02专项)(No.2014ZX02504001)
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究...
关键词：单晶硅反射镜 工件旋转法磨削 表面/亚表面损伤 面形控制 超细粒度金刚石砂轮 
一种大F数微透镜阵列的制备方法被引量：3
《光子学报》2017年第2期32-37,共6页刘鑫 张满 史立芳 曹阿秀 邓启凌 
国家自然科学基金(No.61505214);中国科学院青年创新促进会资助~~
针对大F数(大于10)微透镜阵列难以制备的现状,提出了一种制备大F数微透镜阵列的方法.首先采用传统光刻胶热熔法及刻蚀技术制作出成形的微透镜阵列,再将一层具有较高粘滞系数的光刻胶均匀地涂覆在该微透镜阵列上,在光刻胶的粘滞作用以及...
关键词：微透镜阵列 大F数 光刻胶 粘滞性 表面张力 表面形貌检测 面形控制 
阵列式大口径反射镜背支撑结构
《中国工程物理研究院科技年报》2016年第1期114-116,共3页陈晓娟 
兆焦耳级ICF装置靶场传输光路采用阵列式集束排布，光束数量多、间距小（约70mm），要求靶场千余块关系到打靶精度（50μm）和能量的大口径传输反射镜采用阵列式背支撑结构形式支撑，而围内现有装置的反射镜支撑结构均为周圈夹持支撑方...
关键词：大口径反射镜 支撑结构 阵列式 ICF装置 支撑方式 面形控制 调节控制 连接形式 
环形抛光技术在列阵透镜制造中的应用被引量：3
《中国激光》2015年第7期265-270,共6页焦翔 朱健强 樊全堂 李养帅 
中以高功率激光技术国际合作研究(2010DFB70490)
针对传统方法抛光高功率激光实验中使用的长焦距列阵透镜单元遇到的检测困难、一致性差等问题,提出了采用环形抛光的新方法。对环形抛光系统的理论分析表明,抛光盘面形可以稳定在球面状态。利用这种特性,环形抛光法可以抛光小曲率球面...
关键词：光学制造 环形抛光 列阵透镜 面形控制 大曲率半径 
进动气囊抛光技术研究被引量：1
《导航与控制》2015年第1期41-45,共5页张利鹏 杨辉 鲍龙祥 李静 
武器装备预研基金资助项目(编号:9140A18020307HK1301)
为实现高精度的光学玻璃零件的加工,本文对进动气囊抛光关键技术进行了详细研究。首先介绍了进动气囊抛光设备及原理,通过对Preston方程的分析及工艺参数实验确定了抛光去除函数,并对驻留时间算法进行优化求解,通过MATLAB仿真验证残余...
关键词：进动气囊抛光 去除函数 驻留时间 面形控制 
新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应用——针对超薄蓝宝石片、蓝玻璃、石英片的加工解决方案被引量：1
《甘肃科技》2013年第20期73-75,共3页梁春 
首先简单介绍了双面研磨/抛光加工的机理,随后针对超薄硬脆材料的双面加工对设备所提出的需求,从上下盘的面形控制、压力精度控制和速度同步性的控制等方面分别阐述了对超薄片加工的不同影响,及相应的解决办法和思路。最后提到,双面研...
关键词：超薄片 面形控制 压力控制精度 同步控制 工艺 
空间薄膜反射镜主动面形控制研究进展
《光电工程》2012年第9期1-6,共6页关英姿 
空间薄膜反射镜由于其具有极低的面密度,极高的体积包装效率、低的制造成本等优点,在未来大口径空间光学系统中具有广泛的应用前景。主动面形控制是薄膜反射镜的关键技术之一。按作动器作动的位置不同,对主动面形控制进行了分类,分析了...
关键词：薄膜反射镜 边界作动面形控制 面内作动面形控制 数学建模 
KDP晶体面形控制夹持方案的分析及优化
《光电工程》2012年第2期104-108,117,共6页贾凯 叶朗 崔凯洪 徐攀 袁晓东 张彬 
本文提出了一种能较大程度优化大口径晶体面形的夹持方案,同时分析对比了优化方案与常规方案下重力作用对KDP晶体面形和三倍频转换效率的影响。研究结果表明:优化方案能极大的改善重力对KDP晶体面形的影响;同时当基频光光强为5.5GW/cm2...
关键词：KDP晶体 附加面形 面形优化 转换效率 
离子辅助沉积大口径传输反射镜面形控制研究
《应用光学》2011年第3期545-550,共6页陈松林 马平 胡江川 胡建平 王震 罗晋 
针对大型激光系统中光束质量低和波前畸变等特点,采用离子辅助电子束蒸发技术成功实现对多层膜残余应力的精确控制。通过分析氧化铪、氧化硅单层膜残余应力变化规律,研究了离子源束压、束流参量对膜层折射率、残余应力性质及大小的影响...
关键词：薄膜光学 面形控制 离子辅助 反射镜 损伤阈值 
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