用电子束生电流像观测PN结的形貌  

Using the EBIC Imaging,Observe and Measure the PN Junction

作　　者：刘岩[1] 高博静[1] 

机构地区：[1]辽宁大学分析测试中心

出　　处：《辽宁大学学报（自然科学版）》1991年第2期62-64,11,共4页Journal of Liaoning University：Natural Sciences Edition

摘　　要：本文介绍了利用SEM的EBIC像和SE像观测PN结的全部形貌的理论和方法,对PN结的结深、结宽做了精确的测量,给出了EBIC像和SE像的叠加像。This paper presents the theory and method of observing PN function by using EBIC and SE images, measures the depth and the width of PN function, and gives the fold-over of EBIC and SE images.

关 键 词：电子束生电流 PN结 半导体 SEM 

分 类 号：O475[理学—半导体物理]