厚膜元件和电路基板制造的工艺控制  

作　　者：贺志新 龚馨宇 

机构地区：[1]北京飞行电子总公司微电子事业部

出　　处：《混合微电子技术》2001年第2期40-45,共6页Hybrid Microelectronics Technology

关 键 词：厚膜元件 集成电路 基板 制造工艺 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]