粉粒沉降过程中冷等离子体纯化效果研究  

A study of purity effects of cold plasma during the process of Si-Ge particulates drop

作　　者：陶甫廷[1] 王敬义[2] 冯信华[2] 陶臻宇[1] 陈文辉[1] 张巍[1] 苏庆平[3] 何笑明[2] 

机构地区：[1]广西工学院电子信息与控制工程系,广西柳州545006 [2]华中科技大学电子科学与技术系,湖北武汉430074 [3]成都理工学院应用化学系,四川成都610059

出　　处：《广西工学院学报》2001年第2期8-11,共4页Journal of Guangxi University of Technology

基　　金：广西自然科学基金资助项目 (批准号 :9912 0 0 4)

摘　　要：本文通过实验证实了粉粒沉降过程中冷等离子体的纯化作用 ,并探索了阴极板温度、放电电流、放电时间等参数对纯化效果的影响 。The experiments showed purity effects of cold plasma during the process of Si Ge particulates drop The influence of parameters of cathode plate temperature, discharge current and treat time on purity effects was probed in this paper And the study lays a foundation for industry

关 键 词：冷等离子体 粉粒沉降 纯化效果 冶金工业 

分 类 号：TF19[冶金工程—冶金物理化学]