检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:林金堵
出 处:《印制电路信息》2001年第11期13-15,共3页Printed Circuit Information
摘 要:(续) 1.2底片接触曝光成像对导线宽度的影响 1.2.1精细导线尺寸误差要求与精度要求 随着导线的精细化发展,其导线尺寸误差要求(特别是绝对尺寸误差)和尺寸精度要求,在"量"与"质"上都发生了变化.
分 类 号:TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]
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