电容式微加速度计的噪声特性  

Noise behavior of capacitive micro-accelerometer

作　　者：胡红革[1] 文贵印[1] 余从唏[1] 胡军[1] 赵锡均[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900

出　　处：《传感器技术》2001年第11期18-19,23,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：电容式微加速度计的噪声包括机械热噪声和电热噪声 ;主要分析了机械热噪声在开环系统和闭环系统中的噪声特性以及开环系统和闭环系统检测的动态范围 ,提出电容式微加速度计的噪声主要由机械热噪声的大小决定 ;同时 。The noise of capacitive micro accelerometer include mechanical thermal noise and electrical thermal noise;mostly analysis the noise behavior of mechanical thermal noise in the open loop system and close loop system,along with the dynamic range of the open loop system and close loop system,the noise of capacitive micro accelerometer is dominated by the magnitude of mechnical thermal noise;at the same time,the magnitude of mechnical thermal noise depends on temperature and the magnitude of mechanical damping.

关 键 词：电容式微加速度计 机械热噪声 机械阻尼 噪声特性 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]