电容式微加速度计

作品数：32被引量：99H指数：6
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耐高冲击过载电容式微加速度计设计被引量：4
《压电与声光》2021年第5期705-709,共5页刘翔天 赵锐 李飞 石云波 刘小柔 都捷豪 
国家自然科学基金青年基金资助项目(61704158);山西省应用基础研究计划基金资助项目(201801D221213)。
针对近年来常规弹药制导化改造对经历高动态环境的加速度传感器的迫切需求,该文设计了一种抗高过载、低量程的微机电系统(MEMS)电容式加速度传感器。该加速度传感器使用4组折叠梁组对可动结构进行支撑,并带动其在敏感方向移动,同时敏感...
关键词：加速度计 抗高过载 电容式 叉齿止档 低量程 
田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真被引量：1
《电子产品世界》2020年第12期79-82,85,共5页周寿权 张国俊 王姝娅 戴丽萍 钟志亲 
介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计,有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影...
关键词：微加速度计 SOI 交叉轴干扰 灵敏度 
基于电容式微加速度计的信号调理电路的设计与标定
《电子器件》2020年第2期366-371,共6页周泉 李桂安 
为了提高MENS微加速度计的各种性能,完成了基于电容式微加速度计的过载传感器信号调理电路的设计。设计了基于Model 1221电容式微加速度计的信号调理电路,通过静态和动态调试,在频率响应范围内的带内不平度≤±3 dB,超出频率响应范围的...
关键词：微机电系统 电容式微加速度计 信号调理电路 调试 标定 
梳状电容式微加速度计温度性能优化
《导航与控制》2019年第4期89-94,共6页王帅民 孙国良 牛昊斌 李博洋 余才佳 
零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关键指标,敏感结构机械零位的温度漂移和电路零位(电容检测电路)的温度漂移是加速度计零偏温度漂移的直接原因。分析了影响加速度计零偏温度系数的3种主要影响因素,提出了某型加速度计...
关键词：微机械加速度计 温度系数 电路零位 全硅表头 封装粘胶技术 
一种电容式微加速度计标度因数温漂抑制方法被引量：3
《中国惯性技术学报》2018年第3期366-369,共4页刘云峰 夏澎波 董景新 杨谢天 
装备发展预先研究项目(414170204XX)
电容式硅微机械加速度计作为一种惯性传感器件广泛运用于导航系统,但其温度特性较差,制约其综合性能的提高。为进一步提高闭环电容式微机械加速度计的标度因数稳定性,针对标度因数的温度漂移问题,提出了一种标度因数温漂抑制方法。通过...
关键词：电容式微加速度计 标度因数 温漂抑制 预载电压 
工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期122-125,共4页彭鹏 彭倍 周吴 于慧君 曲昊 何晓平 
supported by NSAF(U1530132);National Natural Science Foundation of China(51505068,51575090);Fundamental Research Funds for the central universities(ZYGX2013J097)
利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:...
关键词：工艺误差 电容式微加速度计 温度漂移 
电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型被引量：1
《传感技术学报》2016年第1期45-50,共6页何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴 
国家自然科学基金项目(51175437)
针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量的温度系...
关键词：电容式微加速度计 刻度温漂 半解析模型 弹性模量的温度系数 封装效应 MEMS 
时分复用数字闭环电容式微加速度计接口电路被引量：2
《光学精密工程》2015年第12期3350-3356,共7页储宜兴 池保勇 刘云峰 董景新 
十二五预研资助项目(No.20114113015)
为实现电容式微加速度计的数字输出闭环,设计了一种数字输出闭环ASIC(Application Specific Integrated Circuit)接口电路,以降低电路输出噪声并提高测量量程。对已有的电容式微加速度计ASIC电路进行了改进,分时段在中间极板上加载差分...
关键词：电容式微加速度计 数字闭环 接口电路 SIGMA Delta调制器 时分复用 
三轴电容式微加速度计接口ASIC设计被引量：6
《电子测量与仪器学报》2015年第7期978-987,共10页许高斌 李新 陈兴 马渊明 
国家863计划项目(2013AA041101)资助项目
基于CSMC0.5um CMOS工艺,给出了一款3轴电容式微加速度计接口ASIC的详细设计方案。利用时分复用技术实现了使用同一电路模块同时检测3个轴向的加速度信号,利用相关双倍采样技术提高了电容电压转换的分辨率,利用Sigma_Delta调制技术对电...
关键词：三轴微加速度计 接口ASIC 时分复用 相关双倍采样 Sigma_Delta 
一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法被引量：1
《传感器与微系统》2013年第7期62-63,67,共3页耿赛柳 徐大诚 郭述文 
电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)...
关键词：电容式微加速度计 标度因数 自动标定 
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