马渊明

作品数：30被引量：82H指数：6
导出分析报告
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：MEMS谐振式压力传感器多孔硅光电探测器过载更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《电子技术应用》《发光学报》《材料导报（纳米与新材料专辑）》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金安徽省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
H型梁谐振式MEMS压力传感器设计被引量：3
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2022年第2期213-218,共6页黄崇勇 许高斌 陈兴 马渊明 
安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018);装备预研/教育部联合基金资助项目(6141A02022422);安徽高校协同创新资助项目(PA2019AGXC0128)。
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 谐振式压力传感器 电磁激励 频率测量 H型双端固支梁 
一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计被引量：1
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2021年第8期1065-1072,共8页许高斌 杨海洋 王超超 马渊明 陈兴 
装备预研教育部联合基金资助项目(JD2018XAZC0009);安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018)。
为隔离外部环境振动对MEMS陀螺仪性能造成的不利影响,文章设计了一种用于MEMS陀螺仪隔振的单层及双层隔振平台,通过理论分析隔振平台结构参数对隔振性能以及集成隔振平台对MEMS陀螺仪性能的影响,确立隔振平台的设计准则;设计了一种用于M...
关键词：MEMS陀螺仪 隔振平台 理论模型 制备工艺 仿真分析 
基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器被引量：1
《真空科学与技术学报》2021年第5期500-505,共6页许高斌 花翔 王亚洲 马渊明 陈兴 
装备预研/教育部联合基金(6141A02022422);安徽省重点研发计划(1804a09020018);安徽高校协同创新项目(GXXT-2019-030)资助;国家重点研发计划资助(2020YFB2008900)。
设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理。加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔。设计...
关键词：Fabry-Perot腔 加速度传感器 波长调谐 MEMS 反射镜 
抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计被引量：3
《仪表技术与传感器》2020年第2期28-32,55,共6页许高斌 王超超 杨海洋 马渊明 陈兴 
装备预研教育部联合基金项目(6141A02022422);安徽省重点研发计划(1804a09020018)。
针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要,设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计,通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计,同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模,添加...
关键词：MEMS 抗过载 压电式加速度计 工业装备振动监控 L形梁 
渐变悬浮电感参数化模型的仿真设计分析
《电子元件与材料》2020年第1期42-47,共6页张倩 许高斌 陈诚 陈兴 马渊明 
装备预研/教育部联合基金(6141A02022422);安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018)
针对目前片上电感无法同时提高品质因数和电感值的问题,设计了渐变悬浮电感参数化模型,研究了金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响。进一步将其与双层电感模型相结合,利用HFSS软件仿真分析得到,双层渐变悬浮电感可兼顾磁场损耗、...
关键词：参数化模型 渐变型 悬浮电感 品质因数 旋转角度 
一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器被引量：8
《真空科学与技术学报》2019年第11期980-988,共9页许高斌 陈诚 陈兴 马渊明 于永强 张倩 
装备预研/教育部联合基金项目(6141A02022422);安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018)
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器。本设计采用的谐振器结构与现有研究不同...
关键词：谐振式压力传感器 静电激励 电容检测 侧梁 复合温敏梁 
微圆顶阵列结构柔性触觉传感器设计与应用研究被引量：5
《电子科技大学学报》2018年第1期153-156,共4页郭小辉 黄英 刘彩霞 刘平 马渊明 
国家自然科学基金(61471155;61401141;61673369);浙江省重点研发项目(2018C01041)
以质量分数3%和2%的炭黑/碳纳米管填充硅橡胶为力敏复合导电材料,提出了一种微圆顶阵列结构的柔性触觉传感器。阐述了微圆顶阵列结构触觉传感器的结构特点、制备流程及微观表征,并结合ANSYS有限元分析软件分析其触觉感知机理。研究该微...
关键词：导电复合材料 足底压力 微圆顶阵列 触觉传感器 可穿戴 
EAST真空室内磁场模型的建立与验证被引量：2
《核聚变与等离子体物理》2017年第3期319-324,共6页许高斌 李坤 王月媖 马渊明 陈兴 沈飙 
国家自然科学基金(11475002)
利用毕奥萨伐尔定律,通过对EAST内部等离子体电流的运动状态的研究,建立了EAST内部的磁场数学模型,并利用Matlab对实验数据的拟合分析,对模型进行了分析验证。通过误差分析,进而改进模型,研究表明改进后的模型与实验数据能较好吻合,误...
关键词：全超导托卡马克 等离子体电流 毕奥萨伐尔定律 磁场模型 
超声波测距自动增益控制电路的设计被引量：8
《电子器件》2017年第3期597-601,共5页汪群 许高斌 陈兴 马渊明 金传恩 欧耿洲 
国家863计划项目(2013AA041101)
针对在测距过程中超声波的能量损耗和回波信号微弱的问题,在分析问题产生的基础上,利用可变增益放大器AD8338设计了超声波自动增益控制(AGC)接收补偿电路,动态范围达到80 d B。实验结果表明:该自动增益补偿电路结构简单,不需要额外的控...
关键词：超声波测距 自动增益控制电路(AGC) 可变增益放大器 
对称分布的三轴谐振陀螺仪的设计、分析与仿真被引量：2
《传感技术学报》2016年第9期1335-1340,共6页陈竟成 许高斌 马渊明 陈兴 
国家863计划项目(2013AA041101)
为了实现单片集成三轴陀螺仪,提出了一种完全对称的四方陀螺结构。介绍了该陀螺的结构设计及工作原理,给出了动力学简化模型,并给出了其动力学方程的详细推导。运用Ansys软件对陀螺结构进行了静态分析和模态分析,仿真结果表明,陀螺在施...
关键词：三轴陀螺 对称 动力学分析 抗过载 模态匹配 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部