何晓平

作品数：32被引量：60H指数：4
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：微加速度计加速度计灵敏度谐振刚度更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《电子科技大学学报》《中国惯性技术学报》《微纳电子技术》《机械科学与技术》更多>>
所获基金：国防科技技术预先研究基金国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响
《电子科技大学学报》2016年第4期696-700,共5页彭倍 周吴 李伦 于慧君 彭鹏 何晓平 
国家自然科学基金(U1530132;51505068;51575090);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2015J085;ZYGX2014Z004)
研究了硼掺杂引起的结构翘曲量对微加速度计性能的影响,获取指导微加速度计设计更为准确的物理模型。通过解析计算,结合有限元仿真及实验等方法,研究了不同硼扩散深度对微加速度计灵敏度的影响,得出了不同掺杂状态下微加速度计灵敏度与...
关键词：硼掺杂 翘曲 微加速度计 灵敏度 
工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期122-125,共4页彭鹏 彭倍 周吴 于慧君 曲昊 何晓平 
supported by NSAF(U1530132);National Natural Science Foundation of China(51505068,51575090);Fundamental Research Funds for the central universities(ZYGX2013J097)
利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:...
关键词：工艺误差 电容式微加速度计 温度漂移 
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究被引量：2
《机械科学与技术》2016年第5期752-757,共6页何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴 
国家自然科学基金项目(51175437)资助
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的...
关键词：微加速度计 边缘电容 寄生电容 非线性误差 有限元法 
电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型被引量：1
《传感技术学报》2016年第1期45-50,共6页何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴 
国家自然科学基金项目(51175437)
针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量的温度系...
关键词：电容式微加速度计 刻度温漂 半解析模型 弹性模量的温度系数 封装效应 MEMS 
基于闭环灵敏度的微加速度计制造误差的评估被引量：2
《仪表技术与传感器》2015年第8期33-35,61,共4页何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴 
国家自然科学基金项目(51175437);中央高校基本科研基金项目(ZYGX2011J085)
微加速度计的制造误差对灵敏度、量程、线性度等指标均有重要影响,文中基于电测法和微加速度计的闭环灵敏度,提出了一种简便且准确的评估制造误差的方法。文中首先基于有限元法提取了梳齿电容与质量块位移之间的函数关系。其次,基于电容...
关键词：制造误差 微加速度计 电测法 灵敏度 
一种梳齿力平衡式微加速度计被引量：1
《仪表技术与传感器》2012年第6期16-18,21,共4页刘恒 何晓平 杜连明 刘清惓 
国家自然科学基金(41075026);国家公益性行业(气象)科研专项(GYHY200906037)
讨论了一种多梳齿力平衡式微机械加速度计表头系统工作原理。因加速度计制造中存在的间距不对称,提出通过调节正负反馈电压比的方法来减小输出非线性误差,并得到了调节的约束关系式。通过体硅深宽比刻蚀和微键合工艺制造了加速度计并进...
关键词：微加速度计 力平衡 非线性误差 反馈 
一种高动态使用微惯性测量单元的实现被引量：4
《中国惯性技术学报》2012年第2期127-130,135,共5页李枚 代刚 唐海林 何晓平 彭勃 
中国工程物理研究院重大预研项目(YY-08.4-2)
针对在振动和高速自旋条件下使用MIMU的问题,提出了一种具备高动态环境适应能力的MIMU设计。采用国产微加速度计和微陀螺作为微惯性传感器,由Honeywell HMC2003完成地磁场测量。采用力学仿真方法分析了随机振动对MIMU本体结构的影响,优...
关键词：MIMU设计 高动态 抗振 地磁场组合 
静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制被引量：1
《控制理论与应用》2011年第10期1405-1412,共8页刘恒 何晓平 张凤田 苏伟 张富堂 
国防预研项目资助项目(51305040201);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
分析了谐振微加速度计闭环驱动控制的要求,并根据要求建立了幅度和频率自适应控制的双闭环驱动分析模型.鉴于系统的高阶非线性,采用近似平均法分析了系统的稳态平衡点和稳定条件.对基于锁相技术的频率跟踪环,得到了环路频率稳定跟踪的...
关键词：加速度计 谐振 恒幅 频率跟踪 平均法 
微加速度计启动漂移特性研究与实验被引量：2
《传感技术学报》2011年第10期1416-1421,共6页代刚 李枚 杜连明 何晓平 苏伟 邵贝贝 
"十一五"国防预研项目
目前研制的基于体硅工艺的微加速度计存在着启动时间较长,启动漂移量较大的问题,难以满足某些需要快速启动的应用。为了减少微加速度计的启动时间,对微加速度计的启动漂移特性进行了研究。分析了启动过程中微加速度计表芯自身发热,驱动...
关键词：微加速度计 启动漂移 热分析 热传导 
静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造被引量：2
《重庆大学学报（自然科学版）》2011年第8期36-42,共7页刘恒 张凤田 何晓平 苏伟 张富堂 
国防预研资助项目(51305040201);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力学原理,确定了输出频率与各活动结构位移的非线性关系。对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题,提出...
关键词：微加速度计 静电刚度 模态分析 灵敏度 
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